深圳大學(xué)王序進(jìn)院士應(yīng)邀來校作學(xué)術(shù)報(bào)告

發(fā)布時(shí)間：2021-10-29

　　

10月26日上午，深圳大學(xué)微電子研究院院長、半導(dǎo)體制造研究院院長、特聘教授王序進(jìn)院士到訪我校，并在仙溪校區(qū)A1—533為學(xué)院師生作主題為“集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧與展望”的學(xué)術(shù)報(bào)告。學(xué)院40余位教師、研究生聆聽了報(bào)告。

王序進(jìn)院士針對(duì)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“軟硬/硬軟（設(shè)計(jì)較強(qiáng)/制造很弱）”的現(xiàn)狀，于2019年10月在深圳大學(xué)創(chuàng)建了半導(dǎo)體制造研究院，主攻半導(dǎo)體“卡脖子”制造技術(shù)的研究開發(fā)，立足深圳及粵港澳大灣區(qū)，充分發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研機(jī)制，直接服務(wù)于國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)，解國家燃眉之急。王序進(jìn)院士并于2021年4月在深圳大學(xué)創(chuàng)建了微電子研究院（下設(shè)工藝、設(shè)計(jì)、材料、封測、器件5個(gè)研發(fā)中心）。

學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)上，王序進(jìn)還與參會(huì)的師生進(jìn)行了互動(dòng)交流，詳細(xì)回答了師生們提出的問題。

王序進(jìn)院士在海內(nèi)外長年從事微納加工、芯片制造核心工藝和設(shè)備的研發(fā)，是該領(lǐng)域的世界級(jí)頂尖專家。在齒輪精密加工領(lǐng)域研發(fā)成功了高效經(jīng)濟(jì)成型磨齒工藝，獲得中國首屆青年科技獎(jiǎng)。研發(fā)的LED藍(lán)寶石墊底超精密加工技術(shù)為世界首次實(shí)現(xiàn)LED量產(chǎn)做出了重大貢獻(xiàn)。在半導(dǎo)體制程領(lǐng)域研發(fā)成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設(shè)備，這一成果得到國際CMP業(yè)界高度評(píng)價(jià)，并獲得日本精密工學(xué)會(huì)技術(shù)獎(jiǎng)。世界上首次研發(fā)成功了帶型單層硬質(zhì)CMP研磨墊工藝并實(shí)現(xiàn)SoC半導(dǎo)體芯片CMP制程量產(chǎn)。研發(fā)成功了新型3層構(gòu)造CMP研磨墊，實(shí)現(xiàn)世界上最高的平坦度和均勻性的綜合CMP性能，并實(shí)現(xiàn)DRAM半導(dǎo)體存儲(chǔ)器芯片CMP制程量產(chǎn)。研發(fā)成功了浸潤式光刻機(jī)投影鏡頭在線檢測用新型光學(xué)微納器件，實(shí)現(xiàn)高端半導(dǎo)體芯片浸潤式光刻制程穩(wěn)定量產(chǎn)。在先進(jìn)影像技術(shù)領(lǐng)域，研發(fā)成功了世界最高性能的在單個(gè)圖像傳感器上同時(shí)實(shí)現(xiàn)RGB可視光和NIR近紅外線成像的多光譜照相機(jī)。