粵臺(tái)人工智能學(xué)院李健博士在流體力學(xué)頂刊上發(fā)表論文

發(fā)布時(shí)間：2022-11-23

　　

   

近日，粵臺(tái)人工智能學(xué)院特聘青年研究員李健博士以第一作者在流體力學(xué)的國(guó)際頂級(jí)期刊《Physics of Fluids》（中科院2區(qū)TOP，影響因子4.980 ）上發(fā)表論文了“Study on stability of cavity in metal-organic chemical vapor deposition calculation based on neural network method”（基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔腔體的穩(wěn)定性研究）。

Study on stability of cavity in metal-organic chemical vapor deposition calculation based on neural network method提出了基于3D MOCVD反應(yīng)腔目標(biāo)區(qū)域的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，并將其應(yīng)用于腔體的流動(dòng)穩(wěn)定性研究。利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型預(yù)測(cè)腔體穩(wěn)定性曲線，并根據(jù)曲線的特性控制工藝參數(shù)的范圍，大大減少了CFD數(shù)值模擬的工作量，為MOCVD設(shè)備的設(shè)計(jì)和工藝調(diào)試奠定了基礎(chǔ)。

 李健博士，2022年加入粵臺(tái)人工智能學(xué)院任特聘青年研究員，主要從事高端氧化物半導(dǎo)體裝備MOCVD的設(shè)計(jì)和研發(fā)工作，研究方向?yàn)橛?jì)算流體力學(xué)、傳熱傳質(zhì)等，目前已在該研究領(lǐng)域發(fā)表 SCI 論文20余篇，參與廣東省重大科技研發(fā)項(xiàng)目多項(xiàng)，主持橫向課題數(shù)項(xiàng)。

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