10月26日上午,，深圳大學(xué)微電子研究院院長,、半導(dǎo)體制造研究院院長、特聘教授王序進(jìn)院士到訪我校,，并在仙溪校區(qū)A1—533為學(xué)院師生作主題為“集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧與展望”的學(xué)術(shù)報告,。學(xué)院40余位教師,、研究生聆聽了報告,。

王序進(jìn)院士針對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“軟硬/硬軟（設(shè)計較強(qiáng)/制造很弱）”的現(xiàn)狀，于2019年10月在深圳大學(xué)創(chuàng)建了半導(dǎo)體制造研究院,，主攻半導(dǎo)體“卡脖子”制造技術(shù)的研究開發(fā),，立足深圳及粵港澳大灣區(qū)，充分發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研機(jī)制,，直接服務(wù)于國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè),，解國家燃眉之急。王序進(jìn)院士并于2021年4月在深圳大學(xué)創(chuàng)建了微電子研究院（下設(shè)工藝,、設(shè)計,、材料、封測,、器件5個研發(fā)中心）,。

學(xué)術(shù)報告會上,，王序進(jìn)還與參會的師生進(jìn)行了互動交流，詳細(xì)回答了師生們提出的問題,。

王序進(jìn)院士在海內(nèi)外長年從事微納加工,、芯片制造核心工藝和設(shè)備的研發(fā)，是該領(lǐng)域的世界級頂尖專家,。在齒輪精密加工領(lǐng)域研發(fā)成功了高效經(jīng)濟(jì)成型磨齒工藝,，獲得中國首屆青年科技獎。研發(fā)的LED藍(lán)寶石墊底超精密加工技術(shù)為世界首次實現(xiàn)LED量產(chǎn)做出了重大貢獻(xiàn),。在半導(dǎo)體制程領(lǐng)域研發(fā)成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設(shè)備,，這一成果得到國際CMP業(yè)界高度評價，并獲得日本精密工學(xué)會技術(shù)獎,。世界上首次研發(fā)成功了帶型單層硬質(zhì)CMP研磨墊工藝并實現(xiàn)SoC半導(dǎo)體芯片CMP制程量產(chǎn),。研發(fā)成功了新型3層構(gòu)造CMP研磨墊，實現(xiàn)世界上最高的平坦度和均勻性的綜合CMP性能,，并實現(xiàn)DRAM半導(dǎo)體存儲器芯片CMP制程量產(chǎn),。研發(fā)成功了浸潤式光刻機(jī)投影鏡頭在線檢測用新型光學(xué)微納器件，實現(xiàn)高端半導(dǎo)體芯片浸潤式光刻制程穩(wěn)定量產(chǎn),。在先進(jìn)影像技術(shù)領(lǐng)域,，研發(fā)成功了世界最高性能的在單個圖像傳感器上同時實現(xiàn)RGB可視光和NIR近紅外線成像的多光譜照相機(jī)。