10月26日上午，深圳大學微電子研究院院長、半導體制造研究院院長、特聘教授王序進院士到訪我校，并在仙溪校區(qū)A1—533為學院師生作主題為“集成電路產業(yè)發(fā)展回顧與展望”的學術報告。學院40余位教師、研究生聆聽了報告。

王序進院士針對我國半導體產業(yè)“軟硬/硬軟（設計較強/制造很弱）”的現(xiàn)狀，于2019年10月在深圳大學創(chuàng)建了半導體制造研究院，主攻半導體“卡脖子”制造技術的研究開發(fā)，立足深圳及粵港澳大灣區(qū)，充分發(fā)揮產學研機制，直接服務于國內半導體制造產業(yè)，解國家燃眉之急。王序進院士并于2021年4月在深圳大學創(chuàng)建了微電子研究院（下設工藝、設計、材料、封測、器件5個研發(fā)中心）。

學術報告會上，王序進還與參會的師生進行了互動交流，詳細回答了師生們提出的問題。

王序進院士在海內外長年從事微納加工、芯片制造核心工藝和設備的研發(fā)，是該領域的世界級頂尖專家。在齒輪精密加工領域研發(fā)成功了高效經濟成型磨齒工藝，獲得中國首屆青年科技獎。研發(fā)的LED藍寶石墊底超精密加工技術為世界首次實現(xiàn)LED量產做出了重大貢獻。在半導體制程領域研發(fā)成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設備，這一成果得到國際CMP業(yè)界高度評價，并獲得日本精密工學會技術獎。世界上首次研發(fā)成功了帶型單層硬質CMP研磨墊工藝并實現(xiàn)SoC半導體芯片CMP制程量產。研發(fā)成功了新型3層構造CMP研磨墊，實現(xiàn)世界上最高的平坦度和均勻性的綜合CMP性能，并實現(xiàn)DRAM半導體存儲器芯片CMP制程量產。研發(fā)成功了浸潤式光刻機投影鏡頭在線檢測用新型光學微納器件，實現(xiàn)高端半導體芯片浸潤式光刻制程穩(wěn)定量產。在先進影像技術領域，研發(fā)成功了世界最高性能的在單個圖像傳感器上同時實現(xiàn)RGB可視光和NIR近紅外線成像的多光譜照相機。