光電材料與器件科研團(tuán)隊(duì)是我?;浉郯闹悄芪⒓{光電技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的主要研究方向之一,學(xué)術(shù)帶頭人是范冰豐特聘教授,。近日,,該團(tuán)隊(duì)在新型氧化物半導(dǎo)體材料和器件、光固化陶瓷3D打印和Micro-LED光電器件等方面研究成果顯著,。
2023年11月,,該團(tuán)隊(duì)特聘青年研究員李永寬等在《Materials & Design》期刊(中科院一區(qū)Top期刊,IF 9.417,,2022分區(qū))發(fā)表題為“Thermally Stable Piezoelectric Sensors for Quantitative Pressure Sensing Based on Linear Piezoelectric Zinc Oxide Thin Films”的學(xué)術(shù)論文,,我校粵港澳智能微納光電技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室為第一署名單位,,李永寬博士為第一作者和通訊作者,,光源與照明系本科生林鴻森為共同第一作者,范冰豐特聘教授為共同通訊作者,。
該論文報(bào)道了基于高質(zhì)量未摻雜氧化鋅薄膜的獨(dú)特壓力傳感器,,可將輸入壓力線性轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào),且可在高于450攝氏度下穩(wěn)定工作,,突破了市面主流PZT鐵電陶瓷的遲滯性信號(hào)轉(zhuǎn)化以及高溫失效瓶頸,,為下一代多功能微機(jī)電芯片開發(fā)奠定了基礎(chǔ)。李永寬博士于2021年加入我校,,致力于微納氧化鋅半導(dǎo)體在微機(jī)電系統(tǒng)中的開發(fā)應(yīng)用,,先后獲得了國家自然科學(xué)基金青年項(xiàng)目“超薄氧化鋅膜線性壓電響應(yīng)調(diào)控機(jī)理研究與壓電性能優(yōu)化”、廣東省粵佛聯(lián)合基金–地區(qū)培育項(xiàng)目等項(xiàng)目資助,,并在學(xué)校和粵港澳聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室共同支持下建設(shè)了先進(jìn)半導(dǎo)體薄膜材料制備實(shí)驗(yàn)室,。該成果是繼2020年該團(tuán)隊(duì)在氧化物半導(dǎo)體材料方面獲廣東省科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)(高性能氧化鋅透明電極制備關(guān)鍵技術(shù)及LED芯片應(yīng)用,,粵府證(2021)340號(hào))等成果的基礎(chǔ)上拓展的新方向,所報(bào)道氧化鋅線性壓電特性為下一代微機(jī)電器件設(shè)計(jì)制造提供了新思路,,有望解決超高分辨率增材制造等領(lǐng)域亟需的亞納米級微納加工與控制難題,,為粵港澳大灣區(qū)智能微納光電技術(shù)進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。
2023年12月,,該團(tuán)隊(duì)特聘青年研究員董泰閣等在《Ceramics International》期刊(中科院一區(qū)Top期刊,,IF 5.2,2022分區(qū))發(fā)表題為“The influences of light scattering on digital light processing high-resolution ceramic additive manufacturing”的學(xué)術(shù)論文,,我?;浉郯闹悄芪⒓{光電技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室為第一署名單位,光學(xué)工程專業(yè)碩士研究生董瑩為第一作者,,董泰閣博士為共同第一作者和通訊作者,,范冰豐特聘教授為共同通訊作者。
該論文是陶瓷增材制造領(lǐng)域數(shù)字光處理打印技術(shù)的最新理論研究成果,。在使用數(shù)字光處理技術(shù)打印過程中,,打印漿料中的陶瓷顆粒對入射光的散射作用將極大地影響打印質(zhì)量。該篇論文探究了入射光與陶瓷顆粒的相互作用機(jī)理,,發(fā)現(xiàn)通過降低系統(tǒng)無序度的方法可以在維持固化深度不變的情況下降低橫向固化寬度,,進(jìn)而有效提高打印質(zhì)量,為實(shí)現(xiàn)高精度陶瓷打印提供了理論依據(jù),。
在成果應(yīng)用方面,,該團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新發(fā)展光固化3D打印陶瓷制備技術(shù),提出了有效降低光散射提高打印精度的綠光LED長波長3D打印制備技術(shù),;以及基于Micro-LED新型顯示芯片的主動(dòng)發(fā)光型3D打印技術(shù),,該技術(shù)可取代傳統(tǒng)光固化3D打印中美國TI的DMD被動(dòng)發(fā)光芯片技術(shù)。該團(tuán)隊(duì)提出以上技術(shù)成果在2022年8月16日“第十二屆先進(jìn)陶瓷國際會(huì)議(CICC-12)”,、2023年5月27日“第二屆陶瓷增材制造前沿科學(xué)家論壇”,、2023年9月14日“第三屆紫外LED國際會(huì)議暨長治LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)大會(huì)”、2023年10月19日“陶瓷點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)聯(lián)合研究中心成立大會(huì)暨第一屆技術(shù)研討會(huì)”等國際國內(nèi)學(xué)術(shù)會(huì)議多次受邀報(bào)告,,并已應(yīng)用于東鵬陶瓷和中航三院等單位,,服務(wù)民用和軍需。
2023年8月,,該團(tuán)隊(duì)主持制定了《3D打印紫外光投影機(jī)光學(xué)性能測試方法》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)(T/GAWA 29-2023),;2023年12月,該團(tuán)隊(duì)主持制定了《應(yīng)用于微納3D打印的Micro-LED投影光機(jī)光學(xué)性能測試規(guī)范》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)(**),。兩項(xiàng)成果均以我校為第一單位,光學(xué)工程專業(yè)碩士研究生楊佳晨為第一制定人,,范冰豐特聘教授為第二制定人,,并聯(lián)合中山大學(xué),、中國航天科工飛航技術(shù)研究院創(chuàng)新研究院、北京化工大學(xué),、廣東省標(biāo)準(zhǔn)化研究院,、深圳市晟峰光電科技有限公司等12家單位共同制定,由廣東省增材制造協(xié)會(huì)發(fā)布,。其中,,第一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了3D打印技術(shù)中紫外光投影機(jī)空間光場的光學(xué)性能諸如光功率密度、光功率密度均勻性,、正焦位置,、有效投影幅面、光學(xué)畸變等參數(shù)的測量方法,,解決了3D打印產(chǎn)業(yè)紫外光機(jī)缺少評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的問題,。第二項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了Micro-LED投影光機(jī)的組成結(jié)構(gòu),并給出Micro-LED投影光機(jī)的光學(xué)性能測試方法,。
上述研究得到了國家自然科學(xué)基金青年基金 (grant 2023YFD2100024,、62204040)、粵港澳智能光電技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室(2020B1212030010),、廣東省粵佛聯(lián)合基金-重點(diǎn)項(xiàng)目(2022B1515120081),、廣東省粵佛聯(lián)合基金–地區(qū)培育項(xiàng)目(2022A1515140042)、廣東重大人才工程項(xiàng)目–特支計(jì)劃科技創(chuàng)新青年人才項(xiàng)目(2019TQ05Z829),、廣東省紫外LED集成光源工程技術(shù)研究中心,、廣東省教育廳重點(diǎn)領(lǐng)域?qū)m?xiàng)(2020ZDZX2043 和2021ZDZX1007)等項(xiàng)目的資助。
圖1. 耐高溫線性壓電響應(yīng)氧化鋅壓力傳感器(DOI: 10.1016/j.matdes.2023.112466)
圖2. 增材制造數(shù)字光處理技術(shù)流程示意圖,。(DOI:10.1016/j.ceramint.2023.12.274)
圖3. 該團(tuán)隊(duì)主持制定的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)